新商品発表

ウェハートリマー

ウェハートリマーは、高精度モーションステージと自社開発の測定システムを搭載した、半導体・電子部品向けの高精度レーザートリミング装置です。広い測定レンジと高い測定精度を備え、安定したレーザー性能と高精度な位置決め制御により、単結晶およびチップウェハに対する微細・高精度なレーザー加工を実現します。

UVレーザーを用いたトリミング加工により、チップ抵抗や単結晶抵抗体などの微細構造に対して、高い再現性と安定した加工品質を提供し、先端電子部品製造プロセスにおける生産効率と製品歩留まりの向上に貢献します。

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製品特長

高精度モーションステージ搭載

高精度な運動制御により、トリミング位置決め精度が高く、安定した加工品質を実現。
自社開発測定・制御システム

自社開発の制御ソフトウェアにより、コードスキャンや MES とのカスタマイズ連携にも対応。
多様な測定機器・作業モードに対応

自社測定システム、パワーメータ、オーム計、チップテスタなどをサポートし、直切モード、測定後切断、測定しながら切断など多様な作業モードに対応。
高精度な位置決めと繰返し精度

マルチ視覚による位置決め、マーク位置決め、プローブ位置決めに対応し、運動ステージの繰返し位置決め精度は ±0.5µm、トリミング位置決め精度は ±0.1µm。
微細トリミング対応

トリミング溝幅は 2µm～6µm と微細加工に対応。
多様なウェハ仕様をサポート

4インチ、6インチ、8インチウェハに対応し、単結晶体の加工にも対応可能。
多彩なトリミングカット形状

シングル、ダブル、L、H、U、J カット、サーペンタイン、オーバーラップなど、豊富なカットパターンに対応。

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