シングルチップテスター

製品特徴

多種な高精度のデジタル抵抗測定器にも対応

アプリケーション効果

各種のチップ抵抗値

*詳細については、製品資料をダウンロードしてください

製品仕様

機械

項目	HiPA標準	オプション
設備型番	JS-M100-SR-I	/
設備寸法	900mm × 680mm × 1520mm （シグナルタワー含まない）	/
重量	0.7T	/
基板サイズ	5060/6070	基板サイズによってカスタマイズ可
プローブ	固定プローブ	プローブ調整可能
プローブ下圧方式	ステップカム	超低抵抗オプション： ボイスコイルモータ
アライメント方式	センタ位置決め治具	/
治具-ステージ回転	手動	/

測定

測定	HiPA標準	オプション
測定範囲	0.01μΩ ~ 1200MΩ(電気メーター)	/
測定精度	RM3545抵抗計の仕様書を参照	電気メーター指定可能
測定效率	RM3545抵抗計の仕様書を参照	電気メーター指定可能
測定方式	シングルチャネル	最大20チャネルまで拡張可能
プローブ設定	4T	/
測定バラツキ	RM3545採用: 1mΩ ~ 10mΩ: ＜0.5%； 10mΩ-1Ω: ＜0.1%； 1Ω ~ 10MΩ: ＜0.05%； 10MΩ-100MΩ: ＜0.1%	ボイスコイルモータ: 1mΩ-1Ω: ＜0.1%

システム

項目	HiPA標準	オプション
操作システム	WIN10専門版（中国語/英語）	/
電圧	AC 220V 50Hz/60Hz	トランスとUPSを手配
気圧	0.4Mpa ~ 0.6Mpa	/

工法&視覚

項目	HiPA標準	オプション
製品仕様	01005-2512	/
抵抗値範囲	1mΩ ~ 100MΩ	/
PR視野範囲	7mm × 9mm@05F16	3mm × 4mm ~ 15mm × 20mm@05F16 1-5X調整可能 3mm × 4mm@40AT
PR位置決め精度	±5μm	/
PR解像度	8μm@05F16	4-20μm@5F16 1-5X調整可能 4μm@40AT
PR識別率	>95%	/
PR校正範囲	6mm × 6mm@05F16	3mm × 3mm ~ 15mm × 15mm@05F16 1-5X調整可能 3mm × 3mm@40AT
校正後誤差	±15μm@05F16	±10μm ~ ±50μm@05F16 1-5X調整可能 ±10μm@40AT
PR2視野範囲(観察だけ)	4mm × 5mm@110RN	/
PR2位置決め精度	±5μm	/
PR2解像度	5μm@110RN	/

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