製品紹介
自社開高精度のデジタル抵抗測定器と自動制御 システムを搭載
測定効率が速い、1s/個、ロット加工に適用
製品特徴
多種な高精度のデジタル抵抗測定器にも対応
アプリケーション効果
各種のチップ抵抗値
機械
| 項目 | HiPA標準 | オプション |
|---|---|---|
| 設備型番 | JS-M100-SR-I | / |
| 設備寸法 | 900mm × 680mm × 1520mm （シグナルタワー含まない） | / |
| 重量 | 0.7T | / |
| 基板サイズ | 5060/6070 | 基板サイズによってカスタマイズ可 |
| プローブ | 固定プローブ | プローブ調整可能 |
| プローブ下圧方式 | ステップカム | 超低抵抗オプション： ボイスコイルモータ |
| アライメント方式 | センタ位置決め治具 | / |
| 治具-ステージ回転 | 手動 | / |
測定
| 測定 | HiPA標準 | オプション |
|---|---|---|
| 測定範囲 | 0.01μΩ ~ 1200MΩ(電気メーター) | / |
| 測定精度 | RM3545抵抗計の仕様書を参照 | 電気メーター指定可能 |
| 測定效率 | RM3545抵抗計の仕様書を参照 | 電気メーター指定可能 |
| 測定方式 | シングルチャネル | 最大20チャネルまで拡張可能 |
| プローブ設定 | 4T | / |
| 測定バラツキ | RM3545採用: 1mΩ ~ 10mΩ: ＜0.5%； 10mΩ-1Ω: ＜0.1%； 1Ω ~ 10MΩ: ＜0.05%； 10MΩ-100MΩ: ＜0.1% | ボイスコイルモータ: 1mΩ-1Ω: ＜0.1% |
システム
| 項目 | HiPA標準 | オプション |
|---|---|---|
| 操作システム | WIN10専門版（中国語/英語） | / |
| 電圧 | AC 220V 50Hz/60Hz | トランスとUPSを手配 |
| 気圧 | 0.4Mpa ~ 0.6Mpa | / |
工法&視覚
| 項目 | HiPA標準 | オプション |
|---|---|---|
| 製品仕様 | 01005-2512 | / |
| 抵抗値範囲 | 1mΩ ~ 100MΩ | / |
| PR視野範囲 | 7mm × 9mm@05F16 | 3mm × 4mm ~ 15mm × 20mm@05F16 1-5X調整可能 3mm × 4mm@40AT |
| PR位置決め精度 | ±5μm | / |
| PR解像度 | 8μm@05F16 | 4-20μm@5F16 1-5X調整可能 4μm@40AT |
| PR識別率 | >95% | / |
| PR校正範囲 | 6mm × 6mm@05F16 | 3mm × 3mm ~ 15mm × 15mm@05F16 1-5X調整可能 3mm × 3mm@40AT |
| 校正後誤差 | ±15μm@05F16 | ±10μm ~ ±50μm@05F16 1-5X調整可能 ±10μm@40AT |
| PR2視野範囲(観察だけ) | 4mm × 5mm@110RN | / |
| PR2位置決め精度 | ±5μm | / |
| PR2解像度 | 5μm@110RN | / |
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